中國半導體光刻膠產業的“拓荒者”——記彤程新材首席科學家、科華董事長陳昕
中國半導體光刻膠產業的“拓荒者”——記彤程新材首席科學家、科華董事長陳昕
53歲時你在做什么？我集團旗下北京科華創始人陳昕的決定是：創辦一家研發先進半導體光刻膠的公司。
2004年8月，陳昕回國創辦了北京科華，計劃用5年時間做到G/I線光刻膠的量產。陳昕沒想到的是，遇到的困難遠超她的預期和想象。“技術問題、人才問題，甚至所用設備的進口問題（系國內第一次進口），都冒了出來。”回憶起創業路，陳昕笑著說，
每天從早上7點到晚上7點，她按照這樣“雷打不動”的時間表工作了17年。17年來，陳昕帶領團隊創建了多個國內第一：實現了國內第一支G/I線光刻膠的量產；完成了國內首條KrF（248nm）光刻膠生產線的建設；開發出國內首支ArF（193nm）干法光刻膠樣品等。對于放棄北京科華的控股權，選擇與彤程新材合作，陳昕表示，科技耀中華，這是她創立北京科華的初心和使命。找她談合作的上市公司有一打，但她最終選擇與彤程新材合作，是因為感動于彤程新材董事長張寧的付出，欽佩于張寧的決斷與奉獻精神。
科華創始人 陳昕
一個女人的“出征”
在中國半導體圈，陳昕是一個傳奇——在53歲時創立了北京科華，并用10年的時間讓北京科華實現了國內領先。
“這不是某一刻的決定，在那之前，為推動中國半導體光刻膠產業發展，我已經跟國內企業合作了8年。”提及當初的創業，陳昕告訴記者，在創立科華之前，她在美國的半導體光刻膠公司工作。每年回國交流，都會認真給出發展先進半導體光刻膠的建
議。但是，陳昕的建議如“泥牛入海”，讓陳昕內心十分苦悶。“你說的事情要花很多錢，還要承擔很多責任。”這樣的反饋讓陳昕意識到，自己對祖國光刻膠產業的夢想不能讓別人負責。
“你學了一門祖國需要的學問，這是幸運的。”媽媽的話給了陳昕莫大的鼓勵，重新喚醒了她的夢想。陳昕決定，回國創辦一家半導體光刻膠公司。2003年，陳昕與合作伙伴回國內調研，看到了國內微電子產業發展的好勢頭。2004年夏天，在和平里七
區一間不到30平方米的小房子里，北京科華誕生了。陳昕的目標是：在國內創建一個具有國際水準的光刻膠企業，用5年時間幫助國內實現當時先進的G/I線光刻膠的產業化。為此，她傾盡所有，籌集了1000萬美元啟動資金。在投身到建廠工作時，陳昕才開始深刻理解當初她的合作伙伴為什么遲遲沒有邁出建廠的腳步。
“在廠房設計即將完成的時候，我們卻被告知購置的土地不能使用了。”陳昕告訴記者，北京科華設立后，在通州購置了土地自建廠房，在被通知不能使用這塊土地后，又輾轉通過當時北京經信局的幫助協調，轉戰北京順義的天竺保稅區，可謂一波
三折。除了土地，工廠的設備幾乎都要進口，流程冗長、復雜；而且，國內工程師幾乎都沒有見過那些設備，更別提安裝、使用。最終，原本計劃12個月的建廠工作，北京科華花了足足30個月才完成，建廠費用也從預計的同類美國工廠的70%，上升到110%。相比這些困難，陳昕遇到的最大問題是“無人可用”。技術、人才、資金，是這個項目必備的三要素。“這個領域在國際上發展了30年，但國內大學連這個方向的教學都還沒有，國內也沒有什么像樣的光刻膠公司，更別提成熟的專業技術人才，甚至成熟的工程建設人才。”陳昕的回憶略帶苦澀。沒有人才，陳昕就找到清華大學、中科院，利用暑期給學生做培訓。之后，陳昕再聯系美國原來的老同事，把這些學生送出去學習……
終于，北京科華在磕磕碰碰中走到了量產。2009年5月8日，以建設“國內領先、國際一流”半導體光刻膠公司為宗旨的北京科華舉行了剪彩儀式，宣告中國有了自己的G/I線光刻膠生產線。
一眾年輕人的激勵
回憶起自己的創業史，陳昕用得最多的字眼是“感動”。她說，能堅持到今天，是因為那些一起工作的年輕人感動著她、激勵著她。科華的成功，是這些年輕人的成功。
“你知道嗎？我曾經一度做了逃兵，是這些年輕人又把我拉了回來。”陳昕笑著告訴記者一個“小插曲”：在花了6個月、10萬美元完成廠房設計后，通州的土地卻被收回了，她決定個人向合作伙伴賠付這筆錢然后結束項目。在阿拉斯加的游艇上，她收到員工的一條短信：在中國做光刻膠，是你自己的夢，也是大家的夢。大家都在為此努力，你沒有權利放棄。這條短信讓她感到非常慚愧和感動，她至今還保留著這條短信。按照陳昕的計劃，在幫助國內實現G/I光刻膠的產業化后，她就退休。但是，隨著產業發展，陳昕意識到，她和北京科華必須承擔起KrF（248nm）先進光刻膠產業化的重任。
在248nm光刻膠產線建設過程中，陳昕再度被一起工作的那些年輕人所感動。由于當時北京科華的體量有限，數億元的投資成為公司亟待解決的問題。在最困難的時候，部分科華的員工抵押了自己的房產，來籌集資金幫助企業渡過難關。最終，在全體員工的努力下，北京科華終于完成了中國第一條高檔光刻膠生產線的建設。Kempur（北京科華的英文名稱）終于浮出水面，被世界所知曉。2013年，國際半導體產業協會（SEMI）主動將北京科華收錄為會員。這意味著，國際上承認中國有半導體光刻膠產
業了。
“陳昕你好幸運，怎么會有這么好的年輕人為你工作！”每每這個時候，陳昕的合作伙伴都無比感慨。“等我退休了，我要寫一本書，告訴全世界，這些年輕人有多么可愛，他們做了多么了不起的工作。”陳昕告訴記者，北京科華的成功不是她一個人的
功勞，是這些年輕人作出了卓越的貢獻。記者了解到，一直以來，科華的團隊非常穩定，那些參與創業的80后，現在大部分都成為公司的骨干。
“交棒”另一位追夢者
“居然需要3億元，真是瘋了。”回憶起研發先進光刻膠的歷程，陳昕印象深刻的是2010年申報KrF（248nm）光刻膠課題的事情。那時，人們不能理解研發光刻膠還需要購置昂貴的光刻機。而在2012年建成KrF（248nm）光刻膠生產線后，北京科華依然
不被投資人看好。“估值2.12億元，如果有人開得更高，你要多少我給多少。”彼時，某知名投資人曾這樣對陳昕講。
有了KrF高檔光刻膠是榮譽，更是壓力，高昂的研發費用、漫長的晶圓廠驗證周期，給北京科華的流動資金帶來巨大壓力。最艱難的時候，陳昕遇到了彤程新材的創始人、董事長張寧。
“好人比有錢人更重要。”對于選擇與彤程新材合作，陳昕說，科華在先進光刻膠領域站穩腳跟后，有十多家公司找上門來合作，最終她選擇了彤程新材，是因為張寧讓她感到安心。
陳昕給記者講了一件小事：有一位老師生病，因承擔不起30萬元的住院押金，老師的兒子無奈發起水滴籌，她捐了款并轉發到了朋友圈。張寧看到后，就通過自己的基金會，幫這位老師繳納了手術的全部費用。
目前，通過受讓股份及簽署一致行動人協議，彤程新材旗下彤程電子直接持有北京科華56.56%的股權，合計持有北京科華超過70%的表決權。
“北京科華與彤程新材合作，二者有機會共同成長為國際一流的電子材料公司。”對于放棄對北京科華的控股權，陳昕認為，彤程新材在精細化工方面的積累，有助于幫助北京科華解決樹脂等原材料問題。更重要的是，在光刻膠上獲得回報需要時間和
耐心，張寧作為企業家，比自己這個科學家更適合掌管“帥印”。
“我們每天都有新進展。”張寧告訴記者，從見到陳昕的那天起，她就知道，陳昕的光刻膠夢想也是自己的，科華將站在彤程新材的肩膀上，繼續先進光刻膠的研發及產業化。在2021年半年報中，彤程新材披露，KrF（248nm）光刻膠產品放量、多個光
刻膠樹脂產品完成開發和認證……
“交棒”張寧后，陳昕也沒有閑著。除了繼續KrF（248nm）、ArF（193nm）、EUV光刻膠研發及路線規劃外，陳昕還想從更高的層面來促進國內半導體光刻膠產業發展——創建一個具有國際水準的研發中心，實現半導體光刻膠研發自動化、智能化。
“做實驗，一個人一個月做100次就不少了，但計算機一天可以完成1000次。”陳昕說，她對到2025年中國的先進光刻膠基本上可以滿足國內集成電路產業發展需求充滿信心，但新的趨勢是，國際上已經開始用軟件替代人力開展研發，她想給國內補上這一課。
